真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。
真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空，有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
真空泵應安裝在地面結實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉平穩(wěn)，振動小。
真空泵與系統的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。）
